Bürkert - in uw buurt
Kantoor /1
  • Hoofdvestiging
  • Hoofdkantoren
  • Systeemhuis
  • Distributeur
  • Kantoor
  • Fabriek
  • Logistiek centrum
bürkert
 

Bypass CMOS sensor

De meting gebeurt rechtstreeks in het bypass-kanaal.

Een laminair flowelement in het hoofdkanaal genereert een kleine drukval, waardoor een kleine hoeveelheid van de totale flow door het bypass-kanaal stroomt. De sensor die zich daar bevindt, registreert de massaflowsnelheid rechtstreeks door het temperatuurverschil te meten. De meting gebeurt in dit geval in een speciaal gevormd flowkanaal waarvan de wanden op één plaats een Si-chip bevatten met een zichtbaar membraan. Met de CMOSens ®-technologie is een warmtegeleider verbonden met dit membraan samen met twee temperatuursensoren stroomopwaarts en -afwaarts daarvan. Als de warmtegeleider een constante spanning krijgt, is het spanningsverschil van de temperatuursensoren een meting van de massaflow van het gas dat door het flowkanaal langs de chip stroomt, dit is een maat voor de hoofdstroom. Elektronisch/softwarematig wordt het massadebiet van de hoofdstroom berekend.

Functiediagram van de bypass-sensor in CMOSSens - technologie (dwarsdoorsnede van het bypass-kanaal)

Mijn vergelijkingslijst